激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干…[詳情]

Information in English:LH1000 Dual-frequency Interferometer.pdfNonlinear error analysis and experimental measurement of Birefringence-Zeeman dual-frequency laser interferometer.pdf[詳情]

滿足計量檢測用戶更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求； 以光刻機用激光干涉測量系統(tǒng)為基礎， 在保留高穩(wěn)定性、高精度、高采樣速率卓越性能的同時， 將光源和測量信號接收處理單元集成在主機里， 一體化設計為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗；[詳情]

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發(fā)展而來的一種基于外差技術的高精度測量儀器，它克服了單頻激光干涉儀易受環(huán)境影響的弱點，即使光強衰減90%，依然可以得到合適的電信號。由于這一特點，雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等，也可以…[詳情]