導讀 雙頻激光干涉儀是先進制造業(yè)、半導體芯片制造等行業(yè)不可或缺的納米精度的尺子，應用廣泛。張書練教授團隊（先清華大學精密測試技術(shù)及儀器國家重點實驗室，后鐳測科技有限公司），以解決雙頻激光干涉儀關(guān)鍵技術(shù)為線，經(jīng)近40年堅韌攀登，研究完成了“可伐-玻璃組裝式單頻氦氖激光器…[詳情]