雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發(fā)展而來的一種外差式干涉儀。傳統(tǒng)單頻激光干涉儀采用單頻技術，容易受到外界環(huán)境干擾，微小的空氣湍流都會引起直流電平變化從而影響測量結(jié)果，這是單頻干涉儀的一個根本弱點。在測試環(huán)境惡劣或測量距離較長時，這一缺點十分突出，而雙頻激光…[詳情]

1、平面度 平面測量是在角度測量的基礎上做的延伸，利用角度測量的附件記錄下一系列平面位置角度，轉(zhuǎn)化為高度的變化，按照對角線的方法測量出平臺上不同位置的高度變化值，就可以得到整個平臺的平面度。 [詳情]

鐳測科技推出的LS600單頻激光干涉儀采用單頻測量技術，技術指標達到或優(yōu)于國外產(chǎn)品同等水平。通過與不同的光學組件結(jié)合，可實現(xiàn)對線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何量的檢測，是高精度線性位移測量、數(shù)控機床校準、三坐標機校準、光學平臺校準的高效率量測工具。 系統(tǒng)組成…[詳情]

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有高強度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干…[詳情]

滿足計量檢測用戶更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求； 以光刻機用激光干涉測量系統(tǒng)為基礎， 在保留高穩(wěn)定性、高精度、高采樣速率卓越性能的同時， 將光源和測量信號接收處理單元集成在主機里， 一體化設計為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗；[詳情]